應(yīng)用介紹

【行業(yè)】SEMI

【設(shè)備】EFEM

【用途】用于半導(dǎo)體前道各種工藝機(jī)臺(tái)的晶圓傳輸

使用場(chǎng)景

檢測(cè)cassette內(nèi)wafer是否有凸出，防止自動(dòng)取片時(shí)發(fā)生異常。

場(chǎng)景：cassette內(nèi)wafer的突出檢查

解決課題

應(yīng)對(duì)不同材質(zhì)wafer的檢測(cè)需求，例如：Si、SiC、Ga2O3等。

價(jià)值提案

核心產(chǎn)品：光纖傳感器 E32/E3NX-FA

配備自動(dòng)調(diào)諧、以及APC&DPC自動(dòng)投光&受光校正，方便快速對(duì)應(yīng)各種透明度的wafer。

相關(guān)產(chǎn)品

光纖傳感器E32系列

https://www.fa.omron.com.cn/products/family/1532/

智能光纖放大器E3NX-FA

https://www.fa.omron.com.cn/products/family/3161/

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