應(yīng)用介紹

【行業(yè)】SEMI

【設(shè)備】爐管

【用途】用于晶圓的批量熱處理

使用場景

檢測石英晶圓舟晶圓是否有突出，防止自動取片時發(fā)生異常。

場景：晶舟上wafer的突出檢測

解決課題

1、多達150片wafer時的高度檢測，容易發(fā)生wafer的橫向移動,需要穩(wěn)定檢測。

2、因檢測距離遠，調(diào)試時光軸對準難度大。

價值提案

核心產(chǎn)品：距離設(shè)定型光電開關(guān) E3Z-LR

●1級激光光源，保證遠距離的檢測下可檢測1mm的位置變化。

● 激光束方向的變化可被抑制并且光點直徑可自由更改，方便遠距離時光軸的調(diào)整。

相關(guān)產(chǎn)品

E3Z-LT / LR / LL

https://www.fa.omron.com.cn/products/family/1747/

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